Nitrogen TriFluoride 三氟化氮 (NF3)
Total Purity 纯度：>99.999%
Vapor Phase Impurities
气相杂质
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Contaminants 杂质 |
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Specifications (ppmv) 规格 |
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Ar+O2 |
Argon+Oxygen 氩气+氧气 |
<1.0 |
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N2 |
Nitrogen 氮气 |
<1.0 |
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CF4 |
Halocarbon-14 四氟化碳 |
<10 |
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CO2 |
Carbon Dioxide 二氧化碳 |
<1.0 |
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N2O |
Nitrous Oxide 氧化亚氮 |
<1.0 |
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SF6 |
Sulfur Hexafluoride 六氟化硫 |
<1.0 |
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CO |
Carbon Monoxide 一氧化碳 |
<1.0 |
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HF |
Hydrogen Fluride |
<1.0 |
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H2O |
Moisture 水 |
<1.0 |
Standard Package Information
包装规格
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Cylinder Type气瓶规格 |
47?, Bundle, Y-cylinder, 20ft ISO-Container, 40ft ISO-Container |
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Fill Weight充装量 (kg) |
20, 320, 200, 4200, 8000 |
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Valve Connection 阀门(DISS) |
640 |